簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "趙崇禮".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="修整時間指標"


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    化學機械平坦化之行星式及搖臂式動態模型對拋光墊修整分析與影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 宋政潮 指導教授: 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化製程中,化學拋光液和晶圓移除的殘屑可能會積 聚在拋光墊表面,通過修整製程去除這些殘屑。故此拋光墊修整對於 CMP 性能至關重要且影響 IC 製造良率。本研究主要針對比較行星式修 整和…
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